衢州市生态环境局龙游分局关于拟对赛飞凌半导体（浙江）有限公司年产电子特气甲基硅烷10吨、半导体碳化硅单晶晶体2.16吨、半导体碳化硅单晶外延片15000片项目环境影响报告书审查的公告

项目名称

建设地点

建设单位

建设项目概况

公众参与情况

相关环保措施承诺

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

年产电子特气甲基硅烷10吨、半导体碳化硅单晶晶体2.16吨、半导体碳化硅单晶外延片15000片项目

龙游县湖镇镇下库山背3号

赛飞凌半导体（浙江）有限公司

项目以氢化锂、氢化铝锂、二乙二醇二甲醚、甲基氢二氯硅烷、籽晶（SiC）等为原料，通过分子筛脱水、反应釜投料、反应釜反应、甲基硅烷缓冲罐暂存、精密过滤、甲基硅烷蒸馏、碱液池水解等工序，进行电子特气甲基硅烷的生产；通过涂抹粘胶剂、粘合、均匀施压、真空固化、超声波清洗、表面除水、晶体生长、晶体退火等工序，进行碳化硅单晶晶体的生产；通过密闭超声波清洗、表面吹干、放入进样室、放入反应仓、原位刻蚀、外延生长、冷却降温、检验包装等工序进行碳化硅外延片的生产

已按照要求信息公开。

严格执行环保“三同时”制度，认真落实本项目环境影响评价文件及批文提出的各项环保要求。

项目生产废水、生活污水经预处理达标后纳入自建污水管网送龙游县城南工业污水处理厂处理；做好废气污染防治，确保废气达标排放；合理布局，做好隔声降噪措施，加强设备维修；一般固废收集后外售综合利用，危险固废收集后委托有资质单位处理，生活垃圾委托环卫部门统一清运处理。